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Adrian Bangerter
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Fineliner
Der Paralleltester Fineliner ermöglicht das beidseitige Kontaktieren auf feine
Strukturen. Durch visuelle Erfassung von beiden Substratseiten und entsprechender
Adapterpositionskorrektur können ≥ 300µm Testpunkte kontaktiert werden.
Der Starrnadeladapter mit einem Pitch von ≥ 400µm erlaubt zudem eine hohe
Kontaktierdichte. Daraus resultiert eine grosse Prüftiefe auf dem Substrat. Der integrierte
DMC-Leser sorgt für eine korrekte Testresultatzuweisung. Mehrfachnutzen können
im Fineliner in X-Richtung durchgesteppt werden, wodurch die Substrattoleranzen in
der X-Richtung weiter eliminiert werden können und kostengünstigere Adapter und
Messtechniken möglich werden. Für ein sicheres und schnelles Umrüsten sorgt ein
Schnellspannsystem mit identifzierbaren Wechselsätzen.
Die Messtechnik kann kundenspezifsch defniert werden. Pro Seite stehen 2040 Pylon
Interfacepunkte zur Verfügung.
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Adrian Bangerter
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